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北方华创取得介质窗及半导体工艺腔室专利提拔
发布时间:2025-03-27 21:10 点击:


威廉希尔

  金融界2025年1月2日动静,国度学问产权局消息显示,授权通知布告号 CN 222233566 U,专利摘要显示,本申请实施例供给了一种介质窗及半导体工艺腔室,涉及半导体工艺手艺范畴,此中,所述介质窗使用于半导体工艺腔室,所述介质窗的底面具有凹面区,所述凹面区的概况朝接近所述介质窗的顶面的标的目的凹陷,所述凹面区位于所述介质窗的底面靠核心的区域。







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